超凈無塵凈化車間目前已經(jīng)是工業(yè)半導(dǎo)體、精密配件制造、LED液晶平面生產(chǎn)、光學(xué)鏡片制造、精密電子線路板、SMT無塵車間、PCB凈化車間、光伏新能源電池生產(chǎn)、塑料化工生產(chǎn)、電鍍/噴涂車間不可缺失的重要硬件設(shè)施，近十幾年來，由于技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展越來越快，社會(huì)及工業(yè)對(duì)產(chǎn)品的精密度及微型化的需求越來越迫切，如大型積體電路小型化研究就其配件的微小化制造，已經(jīng)新能源的發(fā)展，新能源電池組生產(chǎn)的輕質(zhì)微小化，都以成為世界各國在科學(xué)技術(shù)上極為重視的科研項(xiàng)目，電子行業(yè)內(nèi)的需求也一直在要求微電子超凈無塵車間的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)必須日新月異的發(fā)展。
一、光學(xué)微電子超凈無塵車間平面布局要求
1.凈化車間潔凈生產(chǎn)區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)2.無塵生產(chǎn)輔助用房：潔凈等級(jí)設(shè)置為萬級(jí)、十萬級(jí)，一般包括人流進(jìn)出潔凈用房，物料進(jìn)出清潔區(qū)和部分車間辦公生活區(qū)等。3.超凈凈化車間管理區(qū)：潔凈等級(jí)設(shè)置為十萬級(jí)或三十萬級(jí)，一般包括辦公室、會(huì)議室、值班室和休息區(qū)。4.車間生產(chǎn)專用設(shè)備區(qū)：該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃?jí)沒有要求，但要求與凈化車間設(shè)置有效的物理或空氣隔離，本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機(jī)房、電氣用房、純水間、生產(chǎn)用氣間。
二光學(xué)微電子超凈無塵車間裝修要求
1.車間吊頂材料：采用FFU盲板或選用防火彩鋼板，吊頂內(nèi)須可上對(duì)承重要進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。2.車間墻體裝修材料：采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度為50mm，可以盡量有效的適用場(chǎng)地的占地面積，該彩鋼板在安裝時(shí)需要進(jìn)行接地處理，以到達(dá)排放靜電的功能。3. 車間地面裝修：一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材，但無塵車間內(nèi)須對(duì)上述兩種材料進(jìn)行抗靜電處理。
三、超凈無塵凈化車間的空調(diào)設(shè)計(jì)方案
1.超凈無塵凈化車間凈化原理在解決了普通裝修易產(chǎn)塵的問題后，超凈室最重要的空間凈化措施為潔凈空調(diào)系統(tǒng)，凈化空調(diào)機(jī)組通過風(fēng)機(jī)將室內(nèi)及室外的部分新風(fēng)先進(jìn)行初效過濾后，再進(jìn)行中效過濾，這兩級(jí)過濾在組合式凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)完成，然后用高靜壓風(fēng)機(jī)泵入管道，管道末端連接與室內(nèi)相同的特殊送風(fēng)箱，該送風(fēng)箱內(nèi)設(shè)置高效率過濾板，通過高效過濾器后的空氣進(jìn)入房間，通過凈化車間空調(diào)系統(tǒng)工程師規(guī)劃的流動(dòng)路線，帶走房間內(nèi)的微小塵埃，根據(jù)不同級(jí)別的凈化等級(jí)需要，上述過程需重復(fù)不同的次數(shù)，這個(gè)問題在下一節(jié)將給出具體參數(shù)。2.超凈無塵凈化車間循環(huán)參數(shù)①無塵車間按級(jí)別闡述房間換氣次數(shù)：十萬級(jí)凈化車間換氣次數(shù)每小時(shí)不能小于15次；萬級(jí)無塵車間換氣次數(shù)每小時(shí)不能小于20次；千級(jí)無塵室換氣次數(shù)每小時(shí)不能小于50次；百級(jí)超凈室和十級(jí)超凈棚不以換氣次數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)，以全天花送風(fēng)的方式送風(fēng)，全地面回風(fēng)的方式回風(fēng)，即增大送風(fēng)和回風(fēng)口所占面積的比例，計(jì)算凈化組合式空調(diào)機(jī)組的送風(fēng)量是以送風(fēng)速度控制在0.3～0.5m/s來進(jìn)行反向推算。②超凈無塵凈化車間的溫度和濕度控制范圍：冬季>攝氏16度，夏季<攝氏26度，波動(dòng)范圍為±攝氏2度；濕度在45～65%之間，具體以生存的產(chǎn)品特點(diǎn)來確定，正常波動(dòng)范圍在±5% ，濕度同時(shí)在不同的數(shù)量值時(shí)對(duì)室內(nèi)的靜電也有特殊的效果，所以凈化車間內(nèi)的濕度要綜合考慮；③噪音控制：超凈無塵凈化車間內(nèi)的噪音以工作人員的舒適度為主要依據(jù)，國家噪音標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定工作環(huán)境內(nèi)的噪音應(yīng)控制在≤65dB。④新風(fēng)：為了室內(nèi)控制人員的舒適度問題，按照暖通通風(fēng)標(biāo)準(zhǔn)凈化車間內(nèi)要適當(dāng)補(bǔ)充新風(fēng)，新風(fēng)量按照人員數(shù)量計(jì)算，按50m3/h計(jì)算。
四、光學(xué)超凈間設(shè)計(jì)關(guān)于空調(diào)材料的潔凈要求1.空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)管道采用鍍鋅鋼板制作，考慮到風(fēng)壓較大，建議采用中壓法蘭式風(fēng)管，外部采用橡塑作為保溫材料，橡塑需為阻燃性，以保證消防防火安全。2.高效送風(fēng)口可采用冷軋板制作，目前市面上有不銹鋼材質(zhì)高效送風(fēng)口，但根據(jù)永科的施工經(jīng)驗(yàn)，不銹鋼高效送風(fēng)口強(qiáng)度較差，在高風(fēng)壓的狀態(tài)下容易變形。而且不銹鋼高效送風(fēng)口的誕生主要是用于食品企業(yè)SC生產(chǎn)凈化車間，此類車間對(duì)細(xì)菌數(shù)量有嚴(yán)格要求，但凈化級(jí)別較低，僅為10級(jí)凈化，送風(fēng)量要求比較小，風(fēng)壓也較小，這與光學(xué)微電子超凈無塵車間的需求不一樣，所以不建議超凈無塵凈化車間的空調(diào)系統(tǒng)使用。3.回風(fēng)口須采用可開可調(diào)式風(fēng)口，不應(yīng)該采用固定百葉回風(fēng)口，超凈無塵凈化車間內(nèi)須在回風(fēng)口安裝中效過濾器，同時(shí)在潔凈車間的日常使用維護(hù)中，也需要定期清洗，可開式風(fēng)口便于更換中效過濾器和衛(wèi)生清理；可調(diào)式風(fēng)口的作用主要是為了調(diào)節(jié)超凈無塵區(qū)域與普通潔凈區(qū)域的氣流組織，通過調(diào)節(jié)回風(fēng)口上的百葉，可達(dá)到調(diào)節(jié)室內(nèi)外壓差的作用。
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