一、潔凈室的噪音控制
潔凈室噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)；①非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在41dB(A)~64dB(A)范圍內(nèi)，平均為54dB(A)；②單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在51dB(A)~75dB(A)范圍內(nèi)，平均為65dB(A)，非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11dB(A)。
潔凈室的平、剖面設(shè)計(jì)應(yīng)考慮噪聲控制要求，維護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近，各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品，對于輻射噪聲值超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置專用隔聲設(shè)施。
凈化空調(diào)系統(tǒng)噪聲超過允許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔震等控制措施，室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)除事故排風(fēng)外應(yīng)進(jìn)行減噪設(shè)計(jì)；凈化空調(diào)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)允許噪聲級要求，防止風(fēng)速過大而產(chǎn)生附加噪聲；風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速選用，總風(fēng)管為6~10m/s，無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4~6m/s，有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2~5m/s；控制設(shè)備噪聲首先應(yīng)從聲源上著手，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)首先選用低噪聲設(shè)備，在某些情況下由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難于做到時(shí)，應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，例如把高噪聲設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)；排風(fēng)系統(tǒng)噪聲對潔凈室影響極大，以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過程中，外延、擴(kuò)散、腐蝕、清洗等多種工序都需設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)，注意選用低噪聲風(fēng)機(jī)等。
二、潔凈室的氣密性要求
氣密性是潔凈室潔凈度、室內(nèi)壓力能否達(dá)到設(shè)計(jì)要求的保證，不同材料相接處均應(yīng)有接縫，管道穿墻、吊頂處的洞口周圍應(yīng)修平、堵嚴(yán)、清潔，并用密封材料嵌縫，隱蔽工程的檢修口如吊頂檢查孔、管道閥門檢修孔等周邊應(yīng)粘貼氣密性的密封墊；當(dāng)采用彈性材料密封時(shí)，應(yīng)預(yù)留適當(dāng)寬度和深度的槽口和縫隙，寬度一般金屬間接縫為2mm~3mm，而非金屬接縫為3mm~4mm。
對凈化空調(diào)系統(tǒng)的安裝也要采取相應(yīng)措施，金屬風(fēng)管咬口翻邊處的縫隙和孔洞都要涂密封膠或貼密封膠帶，法蘭螺釘孔和鉚釘孔距不應(yīng)大于100mm；密封墊盡量減少接頭，接頭要做成階梯形或企口形，并涂以密封膠，法蘭所有螺釘要均勻壓緊；高效過濾器與框架之間的密封可采用密封墊、不干膠或槽液密封，采用密封墊密封時(shí)，其厚度不宜超過8mm，壓縮率為25%~20%，以保證密封效果；空調(diào)器所有接縫都要作密封處理，表冷段凝結(jié)水排水管上應(yīng)設(shè)水封和閥門，以保證空調(diào)密閉不漏風(fēng)。
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