有防微振要求的潔凈廠房建筑物結構設計時，應根據建筑物內產品生產工藝布置及其對防微振有嚴格要求的部位、設備的設置狀況和輔助設施一公用動力設施的布置以及 振動或隔振措施狀況等，并應密切配合做建筑結構防微振設計。建筑結構的防微振設計應依據不同行業、不同工序或不同設備的要求，按設計流程進行，建筑結構的防微振設計內容有建筑物地基基礎、地面結構或底板結構和主體結構等的防微振設計。在國家標準《電子工業防微振工程技術規范》中對有微振控制要求的建筑物地基基礎、地面結構、主體結構以及精密設備儀器的獨立基礎等的防微振措施作出了較詳細的規定：有防微振要求的潔凈廠房等建筑物內的設備布置時應做到，精密設備及儀器與動力設備的布置較靠近時，應對動力設備采取隔振措施；當樓層布置精密設備或儀器時，動力設備應布置在底層或樓層邊跨， 并應在樓層與精密設備或儀器所在區域隔離通常不應將精密設備及儀器布置在受電梯振動影響的范圍內；當樓層布置精密設備及儀器時，其位置宜位于梁、墻、柱等結構剛度較大的部位或附近。當建筑物為多層廠房時不直設置起重設備，若必須設置 起重設備時，直采用懸臂式起重設備或其他振動影響較小的運輸工具。設置在有防微振要求的建筑物內的動力設備及產生振動的管道進入防微振區域時，應采取隔振措施。

潔凈廠房建筑物的防微振結構形式多樣，通常應根據生產工藝要求和建筑物的建筑結構等確定。對建筑物地基基礎的防微振設計主要要求：抗震設防烈度為7度、8度的地區，建筑物基礎持力層范圍內存在承載力特征值分別小于80kPa、100kPa的軟弱黏土層時， 應采用樁基或人工處理復合地基。采用復合地基時，應按國家現行標準《建筑地基基礎設計規范》和《建筑地基處理技術規范》的有關規定進行載荷試驗和地基變形驗算；防微振廠房同一結構單元的基礎不宜埋置在不同類別的地基土上。這里所指的軟弱黏土層主要是淤泥、淤泥土、沖填土、雜填土或其他高壓縮土層，這類土層支承載力低、壓縮性大，基礎沉降量大，容易產生不均勻沉降，使地坪、樓面、墻體等產生裂縫。精密設備、儀器有較嚴格的防微振要求，一般應選擇樁基穿透軟弱黏土層 ，若采用人工處理復合地基時，處理深度也應穿透軟弱黏土層。地面結構或底板結構的防微振設計應該滿足的要求是：集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器制造廠房、納米科技建筑及實驗室應按防微振要求設置厚板式鋼筋混凝土地面。當采用天然地基時，地面結構的厚度不直小于500mm，地基土應夯壓密實，壓實系數不得小于0.95。當采用樁基支承的結構地面時，地面結構的厚度不宜小于400mm，對于軟弱土地區，不直小于500mm；對于欠固結土，宜采取防止樁間土與地面結構底部脫開的措施；當地面為超長混凝土結構時，不宜設置伸縮縫，可采用超長混凝士結構無縫設計措施。

地面或底板結構采用厚板，提高了地面的整體剛度，工程實踐證明，這對于防微振是非常有效的。當采用樁基支承的地面結構時，由于地面與樁連成了一個整體，因此其厚度可以適當減薄；對于欠固結土，直在澆筑底板結構前，將樁間夯壓密實。

有防微振控制要求的潔凈廠房主體結構的防微振設計通常應該符合下面的要求：集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器件制造廠房光伏太陽能制造廠房納米科技建筑及各類實驗室等所在建筑物的主體結構宜采用小跨度柱網，工藝設備層平臺宜采用鋼筋混凝土結構，平臺與周圍結構之間直設置隔振縫。工藝設備層的鋼筋混凝土平臺-般均采用小跨度柱網，如3.0m、3.6m、4.2m、4.8m ，最大不超過6.0m ，柱網尺寸應以0.6m為模數；為提高鋼筋混凝土平臺的整體剛度，從而提高其固有振動頻率，防微振工藝設備層平臺通常采用現澆鋼筋混凝土梁板式或井式樓蓋結構，亦河采用鋼框架組合樓板結構。當采用混凝土平臺時，其現澆梁、板、 柱截面的最小尺寸應該比非防微振工藝設備層平臺提高25%~40%，從而提高了工藝設備層平臺的整體剛度，工程實踐表明這對于防微振是十分有效的，現澆鋼筋混凝土平臺的梁、板、柱截面的最小尺寸。超長混凝土結構無縫設計技術還應加強縱向梁(墻)、板的縱向通長鋼筋，一般縱向框架梁上部的通長鋼筋不應小于支座或跨中鋼筋截面面積的1/4，每側溫度構造鋼筋的最小配筋率不宜小于0.2%；混凝土墻體水平縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%。樓板、屋面板縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%，屋面板一般采用雙層配筋，且溫差較大時應適當增加配筋。超長混凝土結構無縫設計技術應加強保溫隔熱措施，做好屋面和墻面的保溫隔熱層，既是建筑節能措施，也是降低溫度應力的主要途徑，對于潔凈廠房尤為重要。精密設備及儀器的獨立基礎對沉降控制的要求比建筑物基礎更為嚴格，為此，地面設置的精密設備及儀器基礎底面應設在堅硬土層或基巖上，當基礎底面持力層的承載力特征值達不到300kPa時，應采用樁基礎或人工處理復合地基。若精密設備及儀器受中低頻振動影響敏感時，基礎周圍可不設隔振溝；精密設備及儀器的基臺采用框架式支承時，通常采用鋼筋混凝土框架，臺板宜采用型鋼混凝土結構，其周邊應設隔振縫；工藝設備層平臺上設置的精密設備、儀器一般用防微振基臺，臺板宜采用型鋼混凝土結構，厚度宜大于200mm。

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