以集成電路為代表的微電子產業和以TFT-LCD為代表的光電子產業對其生產環境（建筑、結構、空氣、水、溶劑、供電、控制......）的要求極為嚴格和苛刻，而且隨著技術的不斷發展、更新換代對環境的要求也不斷的升級。

建設潔凈廠房的投資非常高，費用非常大。而且潔凈廠房的潔凈級別高、凈化送風量大，工藝設備排風量大、新風量大、廠房溫濕度要求嚴、精度高，空氣溫濕處理消耗能量大，運行耗電量大、運行費用高。目前高級別潔凈廠房的做法有以下幾種：

（1）局部高級別凈化代替全面高級別凈化

設計時應根據生產工藝對生產環境的實際要求，該高則高，該低則低。在允許的情況下盡量將高級別凈化的加工空間控制在小區域范圍內，盡量減少高凈化級別面積，以局部高級別凈化代替全面高級別凈化，以降低初投資和運行費用。

（2）空氣處理和空氣輸送方式

在高潔凈級別的潔凈廠房設計中，空氣處理和空氣輸送方式大體可分為三類，即：空氣集中處理集中輸送方式，空氣半集中處理半集中輸送方式(海灣式、遂道式)和FFU加干盤管加新風機組方式。

（3）空調和凈化分離

為了減少空氣熱濕處理過程中的無效能耗(如再熱等)和空氣輸送的能耗，在潔凈廠房設計中往往將保證潔凈廠房溫、濕度的空氣（10%左右）和保證室內潔凈度的空氣（90%左右）分開處理，被稱作空調與凈化的分離。一般負擔室內溫、濕度的部分空氣要經過設在空調機房內的空氣處理機（AHU）進行熱濕處理達到設計參數后送到送風靜壓室內。而負擔潔凈度的部分空氣就地附近循環，同時在送風靜壓室內與經空調器處理的部分空氣混合再經過高效過濾器(HEAP)或超高效過濾器（ULPA）過濾后送到潔凈廠房內。這樣不僅節省了冷卻和再熱的無效能耗同時減少了70%空氣的輸送能耗，另外還省掉了大約50~80%的空調機房面積。

（4）加強室外新風的處理

為了提高產品的質量和成品率必須加強對新風的凈化處理。常用的處理方法如下：

①噴水法是較好的處理方法，就是在新風空調器中采用傳統的噴水室。噴城市自來和噴純凈水。采用噴水的方法對處理SOX、NOX、Na和Cl都有較好的效果，尤其是噴純凈水。

②采用化學過濾器和活性炭過濾器也是較好的方法：它們是利用物理吸附加上化學吸附的原理來處理低濃度分子態的化學污染物質。采用化學過濾器和活性炭過濾器的同時要考慮到它們的再生，還原和廢棄處理等問題，不應產生二次污染。某微電子廠的新風處理機采用了十二個功能段(兩級加熱、兩級表冷、兩級淋水、四級過濾和一級加濕)。

潔凈空調系統設計是個復雜的系統工程，而且隨著人們生活水平的日益提高以及對潔凈技術認識的不斷深化，對潔凈空調技術也提出了更高的要求。在微電子領域等對潔凈技術要求較高的特殊場合下，研究空調系統設計的特殊性以及探索開發出更科學合理的空調方式，對保證人體健康和工作效率具有深遠而廣泛的現實意義。

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