一、潔凈廠房建筑設計要點

應將潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)在功能上劃分明確，有各自的出入口及交通線路。宜將潔凈室按潔凈度等級分級集中設置。潔凈度要求高的潔凈室應布置在人流量最少處。人流進入潔凈區(qū)時應由低潔凈度流向高潔凈度區(qū)；避免不同等級潔凈室相互干擾。

要求潔凈區(qū)平面布置合理、緊湊。潔凈室平面形狀簡單，空間體形簡潔，使?jié)崈羰颐娣e和體積為最少。

人員和物料出入口應分開設置，各自緊貼潔凈區(qū)布置。內(nèi)部人流、貨流的污、凈交通線路應避免往返交叉重疊。潔凈區(qū)各種管線需隱蔽，平剖面設計時應按各種管線截面、走向、標高等相應考慮技術(shù)夾道、技術(shù)豎井、技術(shù)夾層和輕型吊頂?shù)奈恢?。?/span>(回)廊可使?jié)崈羰胰〉瞄g接的天然光線、緩沖室外的灰塵及溫濕度對潔凈室的環(huán)境影響，既可作技術(shù)夾道又是參觀走廊。

多層潔凈廠房的物料垂直運輸當采用貨梯時，電梯間應在潔凈區(qū)之外，電梯間的底層宜設氣閘，在樓層與潔凈區(qū)之間應設物料凈化處理室。垂直運輸亦可通過內(nèi)部專用凈化樓梯進行。

為工藝調(diào)整創(chuàng)造條件、管線走向簡便和加快施工進度，潔凈區(qū)宜采用輕質(zhì)隔墻或裝配式輕質(zhì)墻板。

二、潔凈廠房的平面布局

在潔凈廠房設計中，有一定潔凈度要求的潔凈室，根據(jù)本身工藝流程的安排，它的輔助機房以及連接兩者間的大量工業(yè)管線的合理安排(潔凈廠房的平面布置及剖面形式)是影響潔凈廠房設計方案是否適用、經(jīng)濟的重要環(huán)節(jié)。潔凈室的建筑平面布局和凈化空調(diào)系統(tǒng)有密切關(guān)系，凈化空調(diào)系統(tǒng)既要服從建筑總體布局，建筑平面布局也要符合凈化空調(diào)系統(tǒng)的原則，才能充分發(fā)揮相關(guān)功能的作用。

潔凈廠房設計時應考慮到建筑平面尺寸與剖面高度變化的靈活性，走線接管的靈活性，凈化級別的靈活性。通常，采用大跨度的主體結(jié)構(gòu)、大通間的平面布置、輕質(zhì)干作業(yè)的頂棚和隔墻以及盡量利用技術(shù)夾層或技術(shù)夾道布置管線、生產(chǎn)輔助設施，都會為工藝的發(fā)展和廠房的充分利用創(chuàng)造條件。

潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式：

外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內(nèi)設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗；

內(nèi)廊式：潔凈室設在外圍，而走廊設在內(nèi)部，這種走廊的潔凈度級別--般都較高，甚至和潔凈室同級；

兩端式：潔凈區(qū)設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房；

核心式：為了節(jié)約用地、縮短管線，可以潔凈區(qū)為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候?qū)崈魠^(qū)的影響，減少了冷熱能耗，利于節(jié)能。

工作間與技術(shù)夾道相間布置的方式，使平面布置成梳狀排列，對生產(chǎn)的發(fā)展具有更大的靈活性和適應性。根據(jù)工藝要求工作間內(nèi)的潔凈系統(tǒng)可設計為全室層流、局部層流罩或潔凈隧道。技術(shù)夾層兼作輔助設備間或回風通道等，其作用為：成為循環(huán)空氣或回風通道；布置各種管道或終端凈化設備及工藝輔助設備；還可以作為生產(chǎn)輔助設備的維修場所。工作間寬度約4米，技術(shù)夾道寬度約為1.2~2.2 米。這種平面技術(shù)夾道布置方式多被用于實際的集成電路生產(chǎn)廠房。

這種平面技術(shù)夾道布置方式具有以下特點：

公用管道與生產(chǎn)間的聯(lián)系比較方便：由于工作間與技術(shù)夾道是一墻之隔，在隔墻下部又有高400mm的通長回風通道，便于水、電、氣和其它公用管道與生產(chǎn)間的連系。比技術(shù)夾層上、下層之間的連系方便很多。又由于輕質(zhì)隔墻可用輕鋼骨架，使管道及一些輔助設備的安裝非常方便。當工藝調(diào)整生產(chǎn)線時相對容易。

管道及輔助設備的安裝及維修比較方便：由于技術(shù)夾道處于高潔凈區(qū)域的下風側(cè)，公用設施及輔助工藝設備調(diào)整及維修時不會污染高潔凈工藝區(qū)。因此，可不停產(chǎn)進行調(diào)整及維修工作，方便了生產(chǎn)也提高了經(jīng)濟效益。

充分發(fā)揮了各不同級別潔凈區(qū)的作用：技術(shù)夾道是回風的下風側(cè)，布置的是對潔凈度要求不高的工藝設備和輔助設備，如真空泵，控制用計算機等，要求最高的潔凈區(qū)則布置在較小的層流潔凈室內(nèi)或潔凈隧道內(nèi)，這樣可使建設費用運轉(zhuǎn)費用降低。

節(jié)省建筑造價：由于工作間寬度為4米，既滿足工藝生產(chǎn)的一般要求，又有可能在設計垂直層流潔凈室時采用側(cè)墻下部回風，避免采用地面回風的負責形式，就有可能大大節(jié)省建筑造價。

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