一、電子工廠生產(chǎn)工藝對受控環(huán)境的要求
電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED) 等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有：建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等?？偟膩碚f，電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴(yán)五個字來形容。
●大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。
●凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD) 前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。
●精：電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。
●純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊儭?/span>
●嚴(yán)：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴(yán)格的要求，同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx) 元素等對半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過濾器來吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
二、電子工廠高級別潔凈室多采用混合流潔凈室
為了降低潔凈室的建造初投資和運行能耗，電子工廠的高級別潔凈室一般把ISO1級~ISO5級這樣高凈化級別的垂直單向流用在工藝生產(chǎn)最重要、最關(guān)鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級~ISO8級)替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔凈室內(nèi)，構(gòu)成混合流潔凈室?；旌狭鳚崈羰业膬艋照{(diào)系統(tǒng)一般采用新風(fēng)機組(MAU)加風(fēng)機過濾器機組(FFU) 加干冷盤管(DC)的送風(fēng)方案。當(dāng)前國內(nèi)外微電子、光電子等大面積的生產(chǎn)廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強，適應(yīng)電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間等優(yōu)點，是最佳的空氣處理方案和最優(yōu)秀的送風(fēng)系統(tǒng)。
●方案中的新風(fēng)機組(MAU)有五大任務(wù)：
(1)新風(fēng)機組要有維持潔凈室內(nèi)的正壓和補充工藝設(shè)備排風(fēng)的足夠新鮮空氣量，以防止外面污染空氣的滲入。一般情況新風(fēng)量應(yīng)該等于潔凈室的排風(fēng)量加上維持室內(nèi)正壓的滲漏風(fēng)量之和。
(2)新風(fēng)機組要能確保潔凈室內(nèi)嚴(yán)格要求的相對濕度。因此夏季新風(fēng)機組要有足夠的降溫去濕能力，在冬季還要求一定的加濕手段。
(3)新風(fēng)機組內(nèi)要設(shè)置多級過濾器(粗效、中效、高效過濾器)以保護(hù)FFU終端的超高效過濾器。
(4)新風(fēng)機組要能吸收和吸附室外大氣內(nèi)中的有害氣體成份，以消除新風(fēng)中的分子污染。為此，新風(fēng)機組內(nèi)還應(yīng)設(shè)置淋水室以吸收N、S、等有害的元素。淋水室有一級淋水和兩級淋水(一級淋自來水、二級淋純凈水)，同時還要設(shè)置化學(xué)過濾器(活性炭過濾器)用以吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
(5)在黃河以北，尤其是我國的東北地區(qū)，在冬季室外空氣溫度在零下十幾度或幾十度。因此，新風(fēng)機組在北方需要考慮防凍預(yù)熱的措施。
三、電子工廠生產(chǎn)工藝對高級別潔凈室的適應(yīng)性和靈活性的要求非常強
集成電路等微電子的生產(chǎn)工藝發(fā)展規(guī)律告訴我們，每隔2~3年生產(chǎn)工藝發(fā)展就要上一個臺階，其芯片的集成度就要增加4倍，特征尺寸(線寬)就要縮小30%；而繼微電子之后的光電子生產(chǎn)工藝如薄膜液晶顯示器(TFT-LCD) 發(fā)展速度比微電子還要快，一般規(guī)律是每隔1~2年就要更新一代。在潔凈室設(shè)計和建造的全過程中，自始至終都要考慮到如何給電子生產(chǎn)工藝的發(fā)展提供更加靈性生產(chǎn)環(huán)境。
四、電子工廠 高級別潔凈室建造時要特別要強調(diào)安全性和可靠性
建造高級別潔凈室需要巨額的初投資，使用高級別潔凈室時還要付出昂貴的運行費用，其目的就是為了生產(chǎn)出高質(zhì)量、高可靠、高成品率的電子產(chǎn)品。為此，設(shè)計和建造潔凈室時要把高可靠性、高安全性放在第一位。即要保證電子工業(yè)生產(chǎn)工藝所要求的溫度、濕度、潔凈度、風(fēng)速、壓力、噪聲、照度以及靜電、微振等所有受控環(huán)境參數(shù)的可靠、穩(wěn)定。同時，更要從安全的角度上如：結(jié)構(gòu)的承重、防火、防爆、防毒方面確保人員的生命和財產(chǎn)的安全。要遵照“以人為本”的方針，把人員生命和財產(chǎn)的安全作為潔凈室建造的頭等大事來抓。
五、電子工業(yè)中的微電子和光電子工藝的高科技產(chǎn)業(yè)，同時又是高投入、高能耗、高污染的產(chǎn)業(yè)，生產(chǎn)過程排放的廢水、廢氣都含有大量的酸、堿、有機、重金屬等有毒有害物質(zhì)，這些排放物對周圍環(huán)境會造成嚴(yán)重的污染。從環(huán)保的角度要對排放的廢水、廢氣和廢物要進(jìn)行嚴(yán)格的治理，使之處理后都能達(dá)到國家和地方的環(huán)保指標(biāo)才能排放。這也是潔凈室建造中非常重要的一件大事。
總之，電子工廠高級別的潔凈室的設(shè)計和建造一定要了解其建造的特點，解決其中的各個課題才能建造出高質(zhì)量、高安全、高可靠、省投資、省運用費，而且確保生產(chǎn)工藝要求的各種環(huán)境參數(shù)的潔凈室。
?
?
?
廣東賽特凈化設(shè)備有限公司工程項目服務(wù)范圍：潔凈車間、無塵車間、百級生產(chǎn)車間、GMP車間、藥廠生產(chǎn)車間、實驗室、微生物實驗室、膠囊潔凈車間、膠囊無塵車間、干細(xì)胞實驗室、凍干粉針劑潔凈車間、凍干粉針劑無塵車間、電子廠無塵車間、鋰電池車間、鋰電池潔凈車間、鋰電池?zé)o塵車間、食品廠潔凈車間、食品廠無塵車間、手術(shù)室、試劑室、膠體金生產(chǎn)車間、膠體金潔凈車間、生物實驗室、PCR實驗室、醫(yī)療器械無塵車間、醫(yī)療器械潔凈車間、藥廠潔凈車間、藥廠GMP車間、電子廠潔凈車間、單晶硅潔凈車間、單晶硅無塵生產(chǎn)車間、保健品潔凈車間、保健品無塵車間、保健品GMP車間、大輸液潔凈車間、針劑潔凈車間、印刷車間、二極管潔凈車間、二極管無塵車間、壓片糖潔凈車間、壓片糖無塵車間、奶粉潔凈車間、奶粉生產(chǎn)車間、奶粉無塵車間、電子材料潔凈車間、電子材料無塵車間、口罩潔凈車間、口罩生產(chǎn)車間、光學(xué)材料無塵車間、光學(xué)材料潔凈車間、光學(xué)材料生產(chǎn)車間。
廣東賽特凈化設(shè)備有限公司聯(lián)系方式：020—38090335 ?38090329
?