1.電子潔凈廠房的電氣設計

電子沽凈廠房電氣設計一般包括電力系統、照明系統、自動控制系統及防雷接地系統，各系統與其它專業相互配合，是電子潔凈廠房安全生產不可缺少的因素。

2.電子潔凈廠房電力系統

2.1確定負荷分級

根據室外消防水量確定消防設備的負荷等級，根據電子產品生產工藝及設備要求確定工藝設備的負荷等級，選用合理的供電方式。電子產品生產用主要工藝設備，應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，設置不間斷電源或備用發電裝置。

2.2特殊電壓設備

電子潔凈廠房中有些工藝設備是特殊電壓，根據特殊電壓設備分布及種類，確定采用集中式特種變壓器或分布式特種變壓器。

2.3配電系統

電子潔凈廠房工藝設備、動力設備、照明設備配電系統分開，一般采用放射式、樹干式結合的配電方式分別進入設備或電力、照明配電箱。在設計時與業主充分溝通，選擇低壓電纜直接配電或采用母線槽的配電方式。

2.4設備選擇

沽凈室的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備。配電箱可暗裝在回風夾道或灰區內。利用箱內的低壓斷路器或漏電斷路器作過載、短路及漏電保護，并采用手動斷合操作。工藝配電箱配電按照工藝流程合理劃分。

在腐蝕性區域內各類電氣設備及附件如支架、螺母等都應選用防腐蝕材料。防爆房間內電氣設備防爆等級符合規范要求，在爆炸危險環境內，電氣設備的金屬外殼應可靠接地。

2.5導線選擇和線路敷設

潔凈室為密閉空間，一旦出現火情時煙氣不易排出，為確保工作人員的安全和健康，一般采用低煙無鹵電纜。

為保證潔凈生產區的潔凈度，橋架、母線在技術夾層敷設。電纜在有橋架處在橋架內敷設，出橋架后穿鍍鋅鋼管敷設。由于沽凈廠房各專業管線較多，在設計時需與其他專業管道協調，做到清晰合理，方便使用和檢修。

由非凈化區進人凈化區和不同級別凈化區之間的電氣管線，應在穿墻處和管口處做好密封處理，穿越防火墻的電氣線路均在出入口處作防火和密封處理。腐蝕間配電線路穿PVC管保護，支架等電氣附件均刷防腐涂料或選用防腐蝕材料。所有穿過防爆區場所內的隔墻的管線，穿厚壁鍍鋅鋼管敷設，且其鋼管與墻板間的縫隙均應按防爆施工要求做好密封。

2.6配電設備的安裝方式

在清凈區內配電箱在灰區、回風夾道處安裝。安裝于回風夾道內的配電箱箱體到位后，再按照配電箱的實際尺寸在金屬壁板上開洞。安裝于回風夾道的配電箱進線處需密封處理。

3.電子潔凈廠房照明系統

電子潔凈廠房照明分為一般照明、備用照明和應急照明。為保證潔凈生產區的潔凈度，潔凈廠房采用潔凈室專用的潔凈燈具，燈具安裝時，要密封處理好，便于更換燈管、清掃，防止灰塵進入沽凈室。當采用FFU龍骨時，照明燈具一般選擇配合FFU龍骨使用的燈具，避開風口，便于安裝。由于潔凈室照度要求較高，且風口較多，潔凈區的照明光源采用高效熒光燈，所有燈具均采用節能光源，對感光度有要求的生產場所(如光刻區)采用黃色光源。潔凈區主要生產用房一般照明照度值為300~500x，輔助區照度值為200~300Lx，電氣設計時需要與工廠使用部門溝通確認，以達到使用方的要求。備用照明作為正常照明的一部分，且不應低于該場所一般照明照度值的20%。生產廠房內設置供人員疏散用應急照明，其照度不低于5.0lx。在安全出人口、疏散通道或疏散通道轉角處設置疏散標志。在專用消防口設置紅色應急照明指示燈。生產廠房技術夾層內管道多且復雜，應設置檢修照明，便于檢修人員使用。動力站燈具設置在管道下方避免被管道遮擋。

4.電子潔凈廠房自動控制系統

電子潔凈廠房應設置集散式自動控制系統，并具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。在空調機房內設置現場控制器，對凈化空調系統等設備的開關及運行狀態自動監測或控制。

冷凍站內冷水機、冷凍冷卻水泵、冷卻塔等設備可設置智能管理節能群控系統，通過群控系統和安裝變頻器對系統中設備的運行及狀態進行實行全時間的自動監測或控制，使系統運行在最佳狀態，提高運行效率，達到節能、提高安全可靠性、節省人力及延長設備壽命。

冷凍機、空壓機等自帶控制柜的系統設備廠家應在其控制柜內預留通訊接口并要求公開通信協議，以便接人全廠自動控制系統。儀表位號命名規范、人機界面等軟件設置，控制系統承包商應與設備制造商協調以保證全廠統一。

5.電子潔凈廠房接地系統

電子沽凈廠房防雷接地與設備的工作接地、保護接地等共用接地網，接地電阻不大于1Ω。

潔凈廠房內金屬物體包括潔凈室的墻面、門窗、吊頂的金屬骨架，應與接地系統做可靠連接；導靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應做靜電接地。潔凈室的凈化空調系統應做防靜電接地；潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或者粉體管道應采取防靜電接地措施。

電氣設計中需要與工廠使用部門溝通，確定設備防靜電接地、信號接地、屏蔽接地、設備獨立接地的要求。分開設置的接地系統接地極應與共用接地系統接地極保持20m以上的問距，并且做好爆炸環境的防靜電接地、氫氣管道防靜電接地以及氧氣管道防靜電接地。

結束語

在電子沽凈廠房設計中，作為電氣設計人員，一定要把握理解規范要求，安全有效進行設計，同時兼顧合理性和經濟性，來確保電子潔凈廠房中電氣設備的正常使用，使其發揮更大的作用。

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