集成電路產(chǎn)業(yè)是當(dāng)今信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)得以高速發(fā)展的基礎(chǔ)及源動(dòng)力，其發(fā)展規(guī)模和技術(shù)水平已經(jīng)成為衡量一個(gè)國家的產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭力、綜合國力的重要標(biāo)志之一。相比一般的工業(yè)廠房項(xiàng)目，集成電路廠房項(xiàng)目建設(shè)具有高、尖、精的特征。專業(yè)種類多、工藝復(fù)雜，既有復(fù)雜的土建設(shè)施，又有苛刻的高等級(jí)無塵潔凈車間，涉及電力、儀控、暖通、消防、熱能動(dòng)力、特殊氣體、劇毒化學(xué)品、超純水及廢水處理等特殊工藝。動(dòng)力站是為主廠房提供動(dòng)力的主要輔助建筑，是廠區(qū)的心臟，主要包括熱水系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、空分氮?dú)庀到y(tǒng)和事故通風(fēng)系統(tǒng)等。廠房動(dòng)力站內(nèi)設(shè)置冷凍站、換熱站和純水站。
一、冷凍水系統(tǒng)
1.系統(tǒng)組成及原理
系統(tǒng)由冷水機(jī)組、冷凍水循環(huán)泵、定壓補(bǔ)水裝置、管道、閥門及附件等組成。
冷凍水系統(tǒng)采用閉式系統(tǒng)，冷水機(jī)組制備的7℃冷凍水由冷凍水泵送至新風(fēng)空調(diào)機(jī)組的冷卻盤管、循環(huán)空調(diào)機(jī)組、工藝?yán)鋮s水板式換熱器等。從循環(huán)空調(diào)機(jī)組等用冷設(shè)備回來的冷凍水回水( 12℃)由冷凍水泵加壓后送回冷凍機(jī)組；設(shè)置在站房的定壓補(bǔ)水裝置提供冷凍水系統(tǒng)的定壓補(bǔ)水，補(bǔ)水采用己有RO水。冷水機(jī)組根據(jù)負(fù)荷的大小進(jìn)行調(diào)節(jié)，并提供不同的冷量。
冷卻水供/回水溫度為32/37℃。冷凍水管道采用無縫鋼管，閥門采用碳鋼蝶閥。冷凍水管道采用橡塑保溫。
2.測(cè)量及控制
冷水機(jī)組本身配有微電腦控制，能根據(jù)冷負(fù)荷變化自動(dòng)進(jìn)行能量調(diào)節(jié)，配有機(jī)組安全運(yùn)行的必要顯示，報(bào)警、自動(dòng)停機(jī)等保護(hù)設(shè)施，本設(shè)計(jì)增設(shè)如下測(cè)量控制設(shè)施。
當(dāng)用戶負(fù)荷低于20%時(shí)，多余的水從供回水總管之間的旁通管回流。新增冷水機(jī)組和水泵運(yùn)行狀態(tài)接入原有集中監(jiān)測(cè)系統(tǒng)；冷水機(jī)組冷凍水供、回水管設(shè)壓力表、溫度計(jì)；水泵吸水、壓水管上設(shè)壓力表；冷水機(jī)組與冷凍水循環(huán)泵，冷卻水循環(huán)泵，冷卻塔連鎖；冷凍水供回水干管之間設(shè)壓差旁路控制裝置。
3.環(huán)保與節(jié)能
(1)環(huán)保措施
選擇使用環(huán)保冷媒R134a的冷水機(jī)組；選用低噪聲、低振動(dòng)設(shè)備，設(shè)備基礎(chǔ)采用隔振墊，設(shè)備與管道之間的連接采用柔性連接，以減少噪聲和振動(dòng)的傳遞；室內(nèi)墻面敷設(shè)吸音材料；運(yùn)行為中央監(jiān)控，只需定期去現(xiàn)場(chǎng)巡視。
(2)節(jié)能措施
設(shè)置節(jié)能板換，冬季時(shí)冷水機(jī)組停止運(yùn)行，由冷卻塔代替冷水機(jī)組，節(jié)能環(huán)保；選用節(jié)能設(shè)備；冷水機(jī)組的主電動(dòng)機(jī)采用水冷卻，比較經(jīng)濟(jì)；冷水機(jī)組的冷卻水循環(huán)使用有利于節(jié)能。
二、壓縮空氣系統(tǒng)
1.系統(tǒng)簡述
(1)系統(tǒng)組成
系統(tǒng)由空壓機(jī)、壓縮熱吸附式干燥器、兩級(jí)過濾器、儲(chǔ)氣罐、管道、閥門及附件等組成。
(2)系統(tǒng)原理
來自室外的空氣經(jīng)空壓機(jī)初級(jí)過濾、壓縮后，經(jīng)前置過濾器除去塵埃和部分水分后進(jìn)入壓縮熱吸附式干燥器，最后經(jīng)過兩級(jí)過濾器過濾后獲得壓力露點(diǎn)小于-40℃、塵埃粒徑≤0.01μm的干燥凈化壓縮空氣，進(jìn)入壓縮空氣儲(chǔ)氣罐，送至各使用點(diǎn)，使用點(diǎn)的供氣壓力為0.5~0.7MPa。壓縮空氣管道采用SUS304管，閥門為不銹鋼球閥。
(3)測(cè)量及控制
空壓機(jī)本身配有微電腦控制，配有機(jī)組安全運(yùn)行的必要顯示，報(bào)警、自動(dòng)停機(jī)等保護(hù)設(shè)施，本設(shè)計(jì)增設(shè)如下測(cè)量控制項(xiàng)目：
新增空壓機(jī)、壓縮熱吸附式干燥器接入現(xiàn)有集中監(jiān)控系統(tǒng)；供氣干管設(shè)流量計(jì)：空壓機(jī)選用低噪聲、低振動(dòng)設(shè)備，設(shè)備基礎(chǔ)采用隔振基礎(chǔ)，以降低噪音；室內(nèi)墻面敷設(shè)吸音材料；運(yùn)行為中央監(jiān)控，只需定期去現(xiàn)場(chǎng)巡視。
三、空分制氮系統(tǒng)
1號(hào)廠房規(guī)劃合計(jì)氮?dú)庥昧?/span>587m3/h，2號(hào)廠房規(guī)劃合計(jì)氮?dú)庥昧?/span>1443m3/h， 總用氣量為587+ 1443=2030m3/h，現(xiàn)有空分制氮設(shè)備1600m3/h，液氮儲(chǔ)罐作為備用系統(tǒng)。
1號(hào)廠房規(guī)劃+2號(hào)廠房一層合計(jì)氮?dú)庥昧?/span>954m3/h，現(xiàn)有空分制氮設(shè)備1600m3/h，液氮儲(chǔ)罐作為備用系統(tǒng)，滿足使用要求。
四、熱水系統(tǒng)
7號(hào)動(dòng)力站制冷機(jī)房現(xiàn)有三臺(tái)水源熱泵機(jī)組(單臺(tái)制冷量2180kW，制熱量2380kW )一臺(tái)水源熱泵機(jī)組(制冷量366kW，制熱量403kW)，總制冷量6906kW，總制熱量7543kW。預(yù)留機(jī)位處再增設(shè)一臺(tái)雙制式的水源熱泵機(jī)組，制熱量為4074kW (制冷量為3700kW)，擴(kuò)容后總制熱的裝機(jī)容量為7543 +4074- 2380=9273kW，可以滿足整個(gè)園區(qū)的熱負(fù)荷需求(9090kW)，同時(shí)滿足1號(hào)廠房滿產(chǎn)后的冷負(fù)荷需求。
五、純水系統(tǒng)
1號(hào)廠“房規(guī)劃合計(jì)純水用量為76.4t/h，2號(hào)廠房規(guī)劃合計(jì)純水用量為226t/h，使用系數(shù)為0.8，總的純水用量為(76.4+218) x0.8=236t/h。現(xiàn)有純水站供水能力為120噸/h，在2號(hào)廠房動(dòng)力站建造3套60t/h的EDI純水制備系統(tǒng)，2用1備，滿足1、2號(hào)廠房總的純水用量要求。
2號(hào)廠房一層規(guī)劃純水用量為28.4th，1號(hào)廠房與2號(hào)廠房一層合計(jì)純水用量為28.4+76.4=104.8t/h，現(xiàn)有純水站可滿足使用需求。2號(hào)廠房一層所需純水可從現(xiàn)有純水站接入，2號(hào)廠房純水制備系統(tǒng)適時(shí)配備，兩站管網(wǎng)并網(wǎng)，設(shè)備互為備用。
六、事故通風(fēng)系統(tǒng)
對(duì)動(dòng)力站設(shè)置事故通風(fēng)系統(tǒng)，換氣次數(shù)為12次h，自然補(bǔ)風(fēng)。事故通風(fēng)分別在房間內(nèi)、外便于操作的地點(diǎn)設(shè)置手動(dòng)開關(guān)。當(dāng)機(jī)房內(nèi)的制冷劑或其他易燃易爆等有害氣體泄漏時(shí)，布置在房間內(nèi)的氣體探測(cè)器發(fā)出聲光警報(bào)，同時(shí)聯(lián)鎖事故風(fēng)機(jī)啟動(dòng)，迅速將泄漏氣體排出室外。
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