一、電子潔凈廠房空調特點

電子潔凈廠房一般包括潔凈生產用房(通常兼有一般生產用房) ，空調冷水機房，純水、氣體凈化站，人員、物料凈化用房四個部分。《潔凈廠房設計規范》將潔凈室定義為“空氣懸浮粒子濃度受控的房間”。并要求“它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內的其他有關參數，如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制”。這一定義與最新的國際標準的定義是一致的。從以上的要求不難總結電子潔凈廠房的特點：因為生產工藝電子潔凈廠房單位面積發熱量大，為了控制懸浮顆粒濃度形成的循環風量大，由生產線的各種排風確定了為維持潔凈正壓所需要補給的新風量大，以及最重要的溫濕度控制。

二、電子潔凈廠房中常見的空調系統形式

1.新風機組+空調機組+高效過濾器的空調形式

該空調方式指的是室外新風經過新風機組處理后送入混風機組，混風機組把回風與新風混合并處理至所要求的空氣參數后直接用風管送風到各終端高效過濾器，通常新風機組將新風處理到室內焓值，不承擔室內負荷，只承擔新風負荷，由混風機組承擔室內的濕負荷和顯熱負荷。

2.空調機組+風機過濾器單元的空氣處理形式

此方案中的空調機組承擔了所有熱(冷)濕負荷的處理，包括室內負荷和新風負荷的處理，計算負荷時不要漏了FFU風機的溫升形成的負荷，這部分負荷的量也是比較大的，這種空氣處理方案是將處理熱濕負荷所需的風量和潔凈所需的風量分開，這時循環空調箱所需的風量就大大的降低了，不僅節省了運行能耗而且還大大的減少了空調機房的面積，減少了龐大的送、回風管的材料和占據的建筑空間，使潔凈廠房的總高度可以降低，節約了初投資。

3.新風機組+干盤管+FFU的空調形式

新風機組+干盤管+FFU空調方式指的是室外新風經過新風機組處理后送入潔凈室的天花技術夾層內，干盤管負責處理空氣至所要求的參數，然后用FFU來循環空氣從而達到潔凈度要求的換氣量，通常新風機組將新風處理到室內露點溫度，承擔新風負荷及室內濕負荷，干盤管承擔室內的顯熱負荷，FFU負責循環及過濾空氣。即濕度由新風機組負責，溫度由干盤管負責，潔凈度由FFU負責。

空調機組+風機過濾器單元與新風機組+干盤管的區別在于省略了回風管。

三、干盤管的換熱面積及干盤管排數與FFU風壓能力的確定

FFU在潔凈廠房吊頂上的布置采用滿布的方式，FFU單元的風扇噪音指數疊加將直接影響到潔凈室的環境要求。要將綜合好FFU的風壓升高引起的噪聲升高和干盤管的換熱面積及盤管排數作為一個重要指標來考慮。

1.干盤管換熱面積

干盤管的換熱面積可由潔凈室循環風量根據面風速法來確定，通常要配合高效送風單元FFU的風壓來綜合考慮，干盤管的風壓損失對整個系統有著至關重要的意義。但是此數據，目前在國內，尚未標準化。解決此問題的方法，目前一一般還是根據廠家實驗室的數據，來確定在不同的送風速度下，干盤管的風壓損失。根據廠家的實驗數據以及業內的經驗，風壓損失一般希望控制在15Pa以內(綜合盤管排數數據)，對于系統的設計來說非常有利。可以根據實驗室經驗數據提供的對應盤管面積下所取得的風速及風壓損失來確定設計當中適合的盤管面積。

2.干盤管的排數

干盤管排數的增加可以增大盤管與回風的換熱效率，然而排數的增加同樣又增加了FFU單元的壓頭負擔，在盤管安裝面積允許的情況下優先考慮減少排數的數量，將排數控制在一排到兩排較為有利。可見，寬裕的盤管安裝面積有利于千盤管FFU系統的換熱效率及噪聲控制。在潔凈室空調系統方案確定階段就綜合考慮到和土建工藝專業的配合非常重要。

3.干盤管的控制及常見施工問題

干盤管通過水量控制來實現室內溫度控制，按照區域將吊頂內的干盤管分成固定的幾組，根據室內溫度傳感器控制的結果來控制相對區域單組盤管的閥門開度，從而達到控制溫度的效果。按照設計理論來說，干盤管是在干工況下運行的，是不會有冷凝水的，但是凈化房間在剛開空調機的時候，干盤管在進入正常干工況之前是濕工況下運行的，即使凝結水量很少，還是建議要設置凝結水盤及排水管，保證不滴水漏水，而且如果干盤管需要清洗或者排空，也有排水設施可用，所以盡量考慮設置凝結水盤及排水管。

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