一、項目概況

某電子廠的凈化間處于廠房核心部位.內層房間為凈化間，外層房間為空調機房。凈化間分為百級和萬級兩種級別，其中百級凈化間總面積467.6m²，萬級凈化間總面積6000m²。本工程共分兩期，一期工程中百級和萬級凈化間面積各占總面積的31.2m²和3004.5m²。百級凈化間用來作為凈化服的烘干室。

二、系統設計

1.空調機房

外層4.2m高區域作為凈化間的空調機房，空調機組均吊裝于該區域。空調機組送加風管道均安裝有消聲裝置，保證凈化間的噪聲符合標準，機房區設有上人通道，方便機組檢修。

2.空調形式

1)100級凈化間采用FFU送風單元送風垂直層流，穿孔高架地板回風。FFU送風單元額定風量為848.5m³/h，超高效過濾器效率為99.999%(0.1μm)，滿布率為90%，凈化間的總送風量為37200m³/h，折合換氣次數為370次/小時，房間斷面風速為0.3m/s。共設空調機組3臺。高架地板下裝有可旋轉多葉風閥，通過調整風閥的開啟度，可對房間的斷面風速及正壓值進行調節。

2)萬級凈化間采用亂流，氣流組織形式為上送上回，凈化大廳頂棚均布高效送風口161個，每只風口額定風量為1400m³/h，凈化間換氣次數為30次/小時，總送風量為225400m³/h，回風口40個，共設空調機組15臺。

3.空氣處理過程

1 )新風的處理

凈化間新風由凈化新風機組集中處理，夏季首先窒外新風通過新風入口處的無紡布初效過濾器建除大顆粒塵粒，經純凈水噴淋室除塵由離心式通風機送至表冷器進行冷卻除濕并通過再熱盤管再熱，最后經化學過濾器、去鹽過濾器(95%)、高效過濾器(99.97% >0.3μm)進入總新風管；冬季新風則先經預熱器預熱，再進入純凈水噴淋室加濕并除塵，由離心式通風機送至表冷器進行加熱，最后經化學過濾器、去鹽過濾器(95% )、高效過濾器(99.97%>0.3μm)進入總新風管。經新風機組處理后的新風分供各空氣處理機(AHU)送入凈化間，以供應人員新風量補充凈化間內的排風以及調節凈化間內的相對濕度和維持凈化間內所需的正壓。

2)循環風處理

凈化間內人員的操作是產塵的主要原因，除一部分塵粒由真空吸塵系統在工作部位下吸走外，還要依靠凈化間各空氣處理機組(AHU)對循環空氣進行凈化處理米達到潔凈的要求，循環風進入表冷器冷卻或加熱處理后經風機段進入中效過濾器進行過濾，然后進入高效送風口，經高效過濾后送入凈化間。

3)潔凈度的監控

隨著計算機產業的飛速發展，硬盤驅動器的性能不斷增強，計算機更新的周期迅速縮短，而磁阻磁頭(HGA)是生產計算機硬盤的關鍵部件，隨著計算機更新速度的加快，其需求量日益增大，這就要求生產HGA的凈化間長年24小時處于穩定的運行狀態，凈化間潔凈度的保持是HGA品質的重要保證。從而要求對凈化間沽凈進行必要的監控。在實際運行過程中，每星期兩次采用粒子計數器凈化間隨機選取的點進行潔凈度檢測，百級4個點，萬級50個點，然后將所測粒子數與凈化間標準值進行比較.以便及時了解凈化間的運行狀況。

4)機械通風；

機械通風系統主要排除在HGA生產區激光室等產生的微量廢氣包括丙酮、異丙醇、曲通-100等，排風系統的排風口設在工作部位的排氣點，根據職業衛生健康的要求，各排氣口的排風速度須△0.4m/s，排風機旋轉在16米高的樓頂，采取變頻調控。

5)冷熱源

凈化空調系統的冷凍水由冷凍站提供，供水溫度7℃，回水溫度12℃，水壓為0.4MPa，熱水由自備的349kW的電熱鍋爐供給，供水溫度60℃回水溫度50℃。總冷負荷為980kW，總熱負荷為8kW空調冷凍水系統為二管制異程系統，分支管路設置平衡閥，平衡各路壓力，末端設備回水管上設置電動三通閥調節水量。

6)空調自控系統的設計

自控系統由控制器.閥門推動器.溫濕度傳感器、壓力傳感器等組成。新風系統初效卷簾過濾器由壓差傳感器及傳動電機控制，當風阻△P△150Pa時，自動更新。預熱段、表冷段和再熱段都分別設有溫度傳感器，根據氣象條件，其相應的控制器的溫度設定值為27.5℃、12.5℃和18℃，與實測瞬時溫度比較后，由閥門推動器來控制水管閥門的開啟程序，從而使處理后的空氣溫度恒定在設定值。去鹽過濾及高效過濾段裝有壓差顯示表并有壓差信號輸出報警。

AHU的控制是根據凈化間內溫度傳感器與相應各AHU控制器上的設定溫度進行比較來控制AHU冷凍水管比例調節器的開啟度，達到恒溫要求，濕度的調節主要是通過對新風系統預熱和冷卻溫度的調節來實現。溫、濕度傳感器信號與監控室的數字顯示器及記錄儀相連接。可隨時觀察及打印系統的溫濕度。

AHU的風機與冷凍水管閥門推動器進行聯鎖，冷凍水閥門隨風機的啟閉而動作。排風系統與新風系統聯鎖，新風系統開啟，則排風機隨之啟動。在冷凍水供回干管上設有設定壓力為0.28MPa的自動壓力旁通控制閥，保護管網。

三、系統的運行情況

新風系統的設計風量為45000m³/h，排風系統的設計風量為29500m³/h，新風機及排風機都設有變頻調整裝置，可根據不同時期的生產量進行調節，保證潔凈室內的新風量和正壓值。根據季節的變化，須對新風系統溫度的設置進行合理的調節，新風溫度過低，表冷器除濕量過大，不僅再熱能耗大，而且還會導致新風過于干燥；新風溫度過高將無法被有效地去濕。實踐表明，新風系統應用周期性的維護，否則，新風系統的效率會顯著的降低。

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