一、室內(nèi)外消火栓系統(tǒng)
潔凈廠房設置的室內(nèi)、外消火栓系統(tǒng)應符合現(xiàn)行規(guī)范的要求。潔凈廠房室、內(nèi)外消防給水可采用高壓、臨時高壓或低壓給水系統(tǒng)，如采用高壓或臨時高壓給水系統(tǒng)，管道的壓力應保證用水量達到最大且水槍在任何建筑物的最高處時，水槍的充實水柱仍不小于10m；如采取低壓給水系統(tǒng)，管道的壓力應保證滅火時最不利點消火栓的水壓不小于10m水柱（從地面算起）。潔凈廠房的消火栓的設置尚應符合下列規(guī)定：潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應設置室內(nèi)消火栓；室內(nèi)消火栓的用水量不應小于10L/S，同時使用水槍數(shù)不應少于2支，水槍充實水柱不應小于10m，每只水槍的出水量不應小于5L/S。潔凈廠房室外消火栓的用水量不應小于15L/S。
二、自動滅火設備
1、自動噴水滅火系統(tǒng)
目前，自動噴水滅火系統(tǒng)已成為潔凈廠房消防系統(tǒng)的首選配置。設置在潔凈室或潔凈區(qū)的自動噴水滅火系統(tǒng)，宜采用預作用自動噴水滅火系統(tǒng)。自動噴水滅火系統(tǒng)的設計應符合現(xiàn)行國家標準的《自動噴水滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50084的要求。按照《自動噴水滅火系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50084的要求，其噴水強度一般不宜小于8.0L／（min.㎡），作用面積不宜小于160㎡。
2、其他滅火設施
除設置水滅火系統(tǒng)之外，在SiH4配送區(qū)域應當設置直接作用于各個氣瓶的水噴霧系統(tǒng)，該系統(tǒng)的動作信號應當來自感光探測器，如在遠離建筑物的區(qū)域設計的開放式配送系統(tǒng)且采取了有效措施減輕爆轟影響后，可以不設置水噴霧系統(tǒng)。另外目前較為廣泛使用的還有二氧化碳、IG541、三氟甲烷和七氟丙烷等潔凈氣體滅火系統(tǒng)。二氧化碳具有毒性，使用不當會使人窒息，不能用于有人的場所，而且其冷卻作用較大，對精密儀器會產(chǎn)生一定影響。IG54l氣體滅火機理為物理滅火，滅火較慢，它的儲存壓力較高，被保護的區(qū)域較大，但鋼瓶的用量多，鋼瓶間儲存空間較大，而且對系統(tǒng)管網(wǎng)要求高，計算復雜。七氟丙烷氣體滅火機理為化學滅火，滅火較快，一般輸送距離不宜大于35m，但被保護對象體積較大時，需配置2套系統(tǒng)，會增加投資造價。綜上所述，在潔凈廠房存放貴重設備和儀器、物料的潔凈室設置氣體滅火系統(tǒng)時，不應采用會導致人員窒息和對保護對象產(chǎn)生二次損害的滅火劑，應進行方案比較，選擇最合適的系統(tǒng)設計。
三、火災自動報警系統(tǒng)
潔凈廠房應設置火災自動報警系統(tǒng)及消防聯(lián)動控制，其防護等級應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時，保護等級應為一級。硅烷儲存、分配間（區(qū)）應設置紅外線-紫外線火焰探測器。潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層（不包括不通行的技術(shù)夾層）應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。控制設備的控制及顯示功能應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116的有關(guān)規(guī)定。火災自動報警系統(tǒng)的設計在滿足現(xiàn)行規(guī)范要求的同時，還應根據(jù)潔凈廠房的特殊要求合理選擇，充分優(yōu)化。下面以醫(yī)藥類潔凈廠房和電子類潔凈廠房等為例進行說明。
1、醫(yī)藥類潔凈廠房火災自動報警系統(tǒng)的設計，醫(yī)藥潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)應設置火災探測器，生產(chǎn)區(qū)與走道還應設置手動火災報警按鈕。高活性藥物生產(chǎn)潔凈室由于生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生致敏性藥物、生物活性藥物或一般致病菌，容易造成污染，因此設置在該類潔凈室內(nèi)的火災自動報警裝置設備應具備密閉性、耐用性、高靈敏度和表面光潔的特點。點式探測器可選用溫感探測器或火焰探測器，如需要煙感探測器，建議選用紅外光束型線型感煙探測器。對于安裝在吊頂或夾層內(nèi)比較隱蔽的電纜或電氣設備發(fā)熱可能導致的火災的探測，可選用纜式線型感溫探測器。探測器可直接接觸或鄰近被探測目標安裝，及早發(fā)現(xiàn)火災隱患。
2、電子類潔凈廠房火災自動報警系統(tǒng)的設計，電子類潔凈廠房應根據(jù)生產(chǎn)工藝布置和公用動力系統(tǒng)的裝備情況設置火災報警裝置。潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應設火災探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應設智能型探測器。在潔凈室（區(qū)）空氣處理設備的新風或循環(huán)風的出口處宜設火災探測器。當廠房內(nèi)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行規(guī)定要求時，在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置高靈敏度早期報警火災探測器。當潔凈室（區(qū)）頂部安裝探測器不能滿足《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50116要求時，在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置高靈敏度早期報警火災探測器。
3、潔凈廠房內(nèi)特種氣體和化學品泄漏探測系統(tǒng)，潔凈廠房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會帶來很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內(nèi)部、溶劑間、溶劑輸送柜內(nèi)部、SUBFAB、閥門箱和生產(chǎn)區(qū)均應按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR探測器等。
四、防煙排煙
1、防煙設施，鑒于潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)封閉的特點，設置有效的防煙設施有利于保證火災時人員的疏散。當疏散樓梯間布置在建筑的外墻側(cè)，可以采用可開啟外窗進行自然排煙。當疏散樓梯布置在建筑內(nèi)部或樓梯間有潔凈要求不具備自然排煙條件時，應設置機械加壓送風系統(tǒng)。機械加壓送風系統(tǒng)的設計應符合國家有關(guān)消防技術(shù)規(guī)范和標準。潔凈避難區(qū)設置的機械加壓送風系統(tǒng)一般利用新風空調(diào)機組進行加壓，火災時，維持避難區(qū)正壓，正壓值相對于相鄰區(qū)域為25-30Pa。
2、排煙系統(tǒng)，丙類廠房中建筑面積大于300㎡地上潔凈室和建筑面積大于200㎡的地下潔凈室應設排煙設施。潔凈廠房疏散走道應設置機械防排煙設施。目前潔凈室設計的排煙形式主要有上排煙模式、上排煙和下排煙相結(jié)合模式、利用回風通道設置排煙風機進行排煙形式、排煙風機兼作火災時排煙形式。潔凈廠房每個防煙分區(qū)的排煙支管上均應設置排煙防火閥，排煙口采用常開型風口。排煙風機入口處設置280℃關(guān)閉的排煙防火閥，并與排煙風機連鎖。為維持潔凈室內(nèi)部空氣壓力，服務于凈化區(qū)域內(nèi)的排煙系統(tǒng)管路上應采用低泄漏的排煙閥和排煙防火閥。排煙口宜采用低泄漏常閉型板式排煙口，在排煙風機入口處采用低泄漏常閉型排煙防火閥并能接受消防中心的信號自動開啟閥體。潔凈室機械防排煙系統(tǒng)宜與通風、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用但必須采取可靠的防火安全措施，并應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的要求。
五、滅火器配置
潔凈廠房內(nèi)各場所應配置滅火器，并應符合現(xiàn)行國家標準《建筑滅火器配置設計規(guī)范》GB50140的有關(guān)規(guī)定。滅火器的配置，其關(guān)鍵在于正確選擇和使用滅火劑。滅火劑選擇時，應考慮配置場所的火災類型，滅火劑的滅火能力，對保護對象污損程度，使用的環(huán)境溫度以及滅火劑之間、滅火劑與可燃物的相容性。在潔凈室內(nèi)通常不宜選用化學干粉滅火劑、泡沫滅火劑等滅火后會對工藝設備和潔凈室環(huán)境產(chǎn)生一定污染和腐蝕作用的滅火劑。二氧化碳滅火劑滅火后不留痕跡．不污損、腐蝕保護物品，在潔凈室內(nèi)得到普遍使用。
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