一、無塵車間靜電的危害

1、靜電庫侖力

在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和可靠性大大下降。如粉塵粒徑>100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時，最易使產品報廢。現在線徑更細，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種情形多發生在腐蝕清洗、光刻、點焊和封裝等工藝過程中。

2、靜電放電

(1)元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10KV(100PF)的靜電荷，觸摸器件腳時發生ESD，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達20A(10~100s)，不要說高密度，細線徑，薄SiO₂膜的Lsi、Vlsi，就是一般IC、MOS都會遭受損壞。

一般說器件絕緣柵SiO₂薄膜的耐壓場強是E=(5-10)×106V/cm，如果器件SiO2膜厚度取1000，其器件輸入腳施加50V-100V以上的靜電壓就將會被擊穿，而人體帶靜電超過50V、100V是極平常的。

(2)造成噪聲、發射電磁波干擾!

ESD引起EMI其電磁波的前后峰較尖，信號強，相當于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾MH2甚幾百MH2的強大噪聲，可能引起元器件損壞，設備和傳感器不正常工作，甚至引起設備死機。

ESD引起的EMI還會引發錯誤信號的輸入，或發生鎖存現象。如無塵室中，將晶圓片的EMIF箱放在鋼的手推車上，晶圓片的ESD會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則EMI的擴散會引起晶圓片處理機死機。

(3)電擊人體

人體的ESD或對人體的ESD當超過人體電擊極限電流5mA以上時，人都會有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，操作錯誤。賽特凈化可提供電子廠潔凈室的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

無塵車間的半導體，平面顯示器，光電子等無塵車間，盡管做了很多工作，但無塵車間的靜電問題仍然影響著生產安全和產品產量，影響著制造成本和效益，影響產品的質量和可靠性。據國外工業專家估計，美國每年由于靜電造成產品的損失平均在8-33%，還有人估計美國每年靜電對電子工業毀損價值達100億美元;日本80年代曾對報廢的電子產品進行分析，由ESD引起的損失占1/3。我國半導體、平面液晶顯示、光電子等都起步較晚，但靜電危害也時有發生，成品率較低。而銀行、證券公司、機要數據庫、監控中心，電力調度室等等，若出現ESD就很容易引起干擾，數據遺失，情形就更嚴重了。

二、無塵車間靜電控制

1、靜電控制的基本原則

(1) 確定靜電控制級別

(2)盡量減少靜電荷的產生

(3) 泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累

(4)保護產品不受ESD的損壞

2、確定靜電控制的級別

(1)元器件、組件和設備靜電敏感度分級

1級：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的

2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的

3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的

而敏感靜電壓大于16000V的，便不必采取防靜電措施。

(2)靜電防護工作區的分級

A級：允許對地靜電電位不超過±100V

B級：允許對地靜電電位不超過±1000V

實際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應元器件、組件和設備靜電敏感電壓的3級。

3、盡量減小靜電荷的產生

這是控制靜電三步曲的第一步，在這無塵工作環境中，最好的措施：

(1)盡量采用性質相似器材，減少在接觸摩擦分離過程中產生靜電電荷;

(2)盡量采用導靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產生積累靜電荷;

(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。