決定產品良率最主要的因素之一就是潔凈間(無塵室)之潔凈度，而維持一良好潔凈度之潔凈間，并不是一件簡單的事，很多廠商在選擇潔凈間用耗材，尤其是擦拭布方面往往有評估或質量認證等相關問題。我們以為：如果僅針對個別因素作討論，往往失之偏頗，不夠周延，無法反應潔凈間用耗材的評估重點。因此建立一個完整的潔凈間用耗材概念，也就更加重要。????

其實潔凈間與我們一般住家環境一樣，都會受到灰塵或塵粒的污染，當桌面臟了拿起抹布，擦一擦就可以了，而潔凈間內工作環境的潔凈維持較一般住家環境要嚴謹許多，但該如何處理呢？擦拭是一個方法！但是這里的「擦拭」卻是有很多學問，否則會越擦越臟。????

就目前潔凈間所接受到的污染物來區分，可分為以下幾種。

(1)微粒污染物(Particulates)：像細微塵土、發屑、纖維碎屑、金屬微碎屑等；????

(2)有機污染物(Organic contaminants)：像人的油脂、皮屑、油污、殘余的光阻、塑料渣(Plasticizers)、殘渣、聚合物等；????

(3)無機污染物(Inorganic contaminants)：像電鍍殘渣、酸、堿、鹽、金屬離子等；????

(4)微生物污染物：像細菌、芽苞、濾過性病毒、酵母等；????

(5)制造過程產生的污染物：在薄膜長晶過程中形成SiO2污染、真空制程中真空腔產生的殘渣、在無菌容器中的粉沫、液體、油膏等。????

由于污染物有很多種，嚴格來說，針對不同的污染物會有不同的清除方式。而且要同時考慮污染物所附著的表面。????

擦拭是維持潔凈間之潔凈度及有效清除實體表面所附著的污染物最基本且最有效的方法，什么是擦拭作用？其基本定義為，清潔潔凈間里所有的實體表面(Surface)及實體表面的殘留物(Spills)，以提供清潔且符合潔凈等級的工作表面。另外擦拭又分為干擦(Dry wiping)及濕擦(Wet wiping)。干擦可清除一小部份細微的污染物，擦拭效果較小；濕擦則可清除大部分細微的污染物，擦拭效果較大。在擦拭過程中我們會發覺有的塵粒或污染物容易被清除，有的卻非常困難，這跟塵粒的附著力有相當大的關系。理論上，塵粒的附著力是指移除潔凈間實體表面的微粒所需的力。????

而影響塵粒附著力的因素可大分為三種。一為塵粒本身，塵粒的化學屬性、尺寸與型式；二為實體本身，實體表面的材料及表面狀況；第三種為潔凈間環境，尤其是相對濕度。一般來說，到底塵粒的附著力有多大？以1mm大小的塵粒附著于硅片為例，微粒是毛細物(Capillary)為0.045 dyne、Van der waals為0.014 dyne、Electric Double Layer為0.003 dyne、Electrostatic Image為0.001 dyne。????

影響塵粒粘著力大小之分析(附著力)：????

(1)介于塵粒與附著表面的薄液體與粘著力有關系；????

(2)圓柱狀的塵粒，像頭發、短纖維的附著力較一般為強；????

(3)液體的表面張力與粘著力成正比；????

(4)塵粒與附著表面的潮濕性也會增加粘著力；????

(5)親水的實體表面也會牢牢的粘住塵粒；????

(6)塵粒越大附著力越大；????

(7)塵粒與表面的附著力其實是很大的。所以要有效移除塵粒，要先了解影響塵粒附著力之因素及附著力大小，以便選擇適當清潔用品及清潔劑。????

潔凈間的等級分類潔凈間依制程需要會有不同的等級要求，越高等級的潔凈間，相對設置與維護成本也將越高。

清潔度之維持與有效的擦拭由于大部分的潔凈間都已經經過重重的保護，但往往還是有污染的情況發生，可能的因素之一，就是在擦拭的過程發生問題，例如使用不洽當的擦拭工具，擦拭方式不正確等，因此造成清潔效果不彰或是二次污染；故對于擦拭要有更深入的了解，一般容易被忽略的一些要點，如塵粒與實體表面中間有很強的附著力，不是輕輕一擦就可移除；移除極小的塵粒相對需要極大的外力；擦拭布，拖把及擦拭棒提供必要的外力來清除塵粒；藉助低表面張力的清潔劑也可以幫助移除塵粒。這幾點都是經常被忽略的，也是我們要注意的。另外我們就擦拭材料作一分析及討論，擦拭效果的好壞與擦拭材料有絕對的關系，同樣材質但不同方式編織成的擦拭布其除污效果也大不相同，其主要因素就是擦拭刮除力(Shear force)。????

擦拭刮除力接觸實體表面的清潔方式是清潔堅硬表面的最有效方式，例如以500克的下壓力施與擦拭布上，而產生的擦拭效果(刮除力)可達100psi，而且清潔劑(溶劑)的化學效力也會增強清除效果。因此在選擇適合的擦拭用品時，千萬要注意刮除力，而刮除力跟擦拭布的材料及編織方式有絕對的關系，因此在選擇擦拭用品時，一定要注意這部分，因為目前很多供貨商提供的產品，質量差異很大，最好請擦拭用品供貨商，提供具體的規格或實驗數據，這樣才可確保產品的質量。我們已經了解擦拭用品的差異，接下來擦拭方法也是相當重要的，不正確的擦拭不但無法清潔物體表面，甚至有可能損害到精密的產品。而擦拭無外乎濕擦(Damp Wiping)與干擦(Dry Wiping)。????

濕擦先以化學清潔劑溶解及減低塵粒的附著力，將污染物吸入擦拭布中或溶解于清潔劑中，并避免使干塵粒飛入空氣中，濕擦較干擦更為有效，能移除大量的塵粒。????

干擦最好用在最后擦拭，擦干實體表面。當實體表面不能弄濕時才使用此方法，一般而言：干擦效果不及濕擦。要能夠徹底清潔及找出適合的擦拭用品我們必須以微觀的角度來了解擦拭動作。使用低表面張力的清潔劑，分解塵粒(Deposition)——使塵粒與實體表面分離。移除微?；驓堅?Removal)，以擦拭布的結構將塵粒移開實體表面并陷入擦拭布的結構中。擦拭布的功用即包含以上兩種，但須維持平衡，以免讓被分解開的塵粒遁入空氣中，四處移動。

由于了解擦拭作用的概念，因此利用此一概念，我們歸納出擦拭的要領為，由實體表面最干凈的地方往最臟的地方擦拭；由最干的地方往最濕的地方擦拭；盡量使擦拭面壓力平均；按規定的折迭方式折迭、換面、讓擦拭面保持最干凈，才能維持擦拭效果；25%重迭擦拭表面，擦拭方向平行一致。擦拭方法是有標準規定的。有關標準的擦拭方法Institute for Environmental Science標準，文件編號?IES-RP-CC018.2。????

選擇合適的擦拭材料每個生產線對于擦拭材料的要求都不一樣，但一定要依實際之需要來選擇，因此就擦拭材料的基本特性作一說明，以便在選擇時作參考。????

● 吸水性：吸水性的內容應包括吸水量(Capacity)、吸水速率(Efficiency)兩項；????

● 韌度：也就是耐磨性，擦拭布結構須不易被破壞，并釋出纖維碎屑.?擦拭粗糙表面時，尤其需要考慮這個特性；????

● 抗拉扯力：此特性與擦拭粗糙表面有重要關系；????

● 抗化學藥劑特性：部分制程需使用特殊化學藥劑或危險溶劑，擦拭布供貨商也針對不同化學藥劑的清除提供不同的擦拭材料；???

● 使用的方便性：擦拭布的顏色，尺寸與包裝是否能迎合生產線需要，也必須考慮；????

●一般在生產線最常碰到的就是吸水性的問題，在此所稱的吸水性，并不是單指吸水，而是泛指水溶液，擦拭材料之吸水性取決于4大項。一為材料本身，一般織成聚酯纖維的吸水性最好，其次是無紡混紡材料，棉質則最差。聚酯纖維的吸水量大，吸水速率也較快；棉花的吸水量較小，吸水速率也較慢；無紡混紡布的吸水量小，但吸水速率較棉花為快。第二項為毛孔的型式，一般較小的孔徑容水量較大，但吸水速度較慢。第三項則是表面處理、膨脹處理、軟化處理等，均會影響吸水性。最后一項為液體特性，要清除的是何種液體？它的表面張力也會影響吸水性質。????

除了吸水性之外，擦拭材料的污染性(潔凈度)也是大家相當重視的，因此特別就各種規格及測試方法作一說明，以期在做選擇時，不會雞同鴨講，將不同的測試數據放在一起比較。????

● 擦拭布的塵粒釋出量(>0.5mm)：Air Particle Counter、Liquid Particle Counter、Scanning Eletron Microscopy：IEST規范以上3種擦拭布塵粒釋出量的測試方法。建議讀者于評估擦拭布潔凈度或閱讀相關產品潔凈度數據前，先確定這份數據用的是哪種測試方法，藉以統一評估標準。????

● 纖維釋出量(Optical Microscopy)：這個測試方法是為測出擦拭布纖維結構被破壞情形，以及所釋出的纖維殘屑。????

● 非揮發性殘渣(Non-volatile Residue)：這個測試方法主在測試擦拭布中不能被去離子水(DIW)或異丙醇(IPA)溶解的殘余物質。????

● 離子釋出量(Capillary Ion Electrophorsis)：這個測試方法主在測試出擦拭布中釋出的離子。????

● 生化物質(Culture Plate)：在這里指的是擦拭布釋出的有機物質。????

● 毒物(LAL test)：指的是擦拭布釋出的有毒物質。????

● 表面阻抗質(Resistance Probe & Ohmmester)：這點與擦拭布能否有效吸附塵粒，或能否應用于靜電敏感實體表面(ESDS)，像光罩上。擦拭材料的材質有很多種，廣義來說，可分為兩大項。第一種是人工材質連續纖維(Continuous filament yarns)，屬長纖維、不易斷、較少塵粒與纖維釋出，可為織成布或無紡布，有聚酯纖維及尼龍兩種；第二種則是所謂的人工材質(Staple yarn nature)，短纖維、較多塵粒與纖維釋出，可為織成布與無紡布。相較之下，屬第一種類型的聚酯纖維，最符合潔凈間擦拭布要求，具有超低塵粒及纖維碎屑釋出等特性，且可以做封邊處理，也就是熔合擦拭布的四邊，再避免纖維碎屑釋出。????

至于尼龍，其韌性及吸水性較強、有較低的塵粒及纖維釋出，但非揮發性殘渣量較高。而其他的材質，如聚酯纖維素混紡其韌性及吸水性強、有較高的塵粒與纖維釋出；棉織物則具韌性強、吸水性中等、較耐熱、適合擦超過攝氏250度以上實體表面、塵粒及纖維釋出物超多、不適用在高等及潔凈間等特質；