隨著28納米工藝技術(shù)的成熟，28納米工藝產(chǎn)品市場(chǎng)需求量呈現(xiàn)爆發(fā)式增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)，從2012年的91.3萬片到2014年的294.5萬片，年復(fù)合增長(zhǎng)率高達(dá)79.6%。而且隨著“中國(guó)制造2025”戰(zhàn)略的實(shí)施，許多高新科技領(lǐng)域?qū)呻娐返男枨笫志薮螅瑫r(shí)對(duì)大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)生產(chǎn)、封裝環(huán)節(jié)要求越來越高。

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大規(guī)模集成電路的制造利用各種各樣的設(shè)備和工藝技術(shù)。各專業(yè)技術(shù)人員雖然對(duì)自己分工的工藝技術(shù)精益求精，但對(duì)其它工藝生產(chǎn)情況有時(shí)不一定了解，甚至往往不注意個(gè)人負(fù)責(zé)的設(shè)備和工藝生產(chǎn)給潔凈室（cleanroom）內(nèi)的環(huán)境帶來的不良影響。

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對(duì)集成電路產(chǎn)品造成影響的潔凈室污染因素：

（1）電磁噪聲

通過大電流的氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲，影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

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（2）振動(dòng)

設(shè)備內(nèi)的真空泵電機(jī)工作時(shí)會(huì)把振動(dòng)經(jīng)地板傳遞到微細(xì)加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上，影響它們的工作精度。應(yīng)在振源和怕受振動(dòng)的設(shè)備下安裝空氣彈簧減震器，以達(dá)到衰減振動(dòng)的目的。

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（3）生銹

酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時(shí)，酸霧氣擴(kuò)散于室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設(shè)備的金屬部分，就是不銹鋼裸露在含氯氣的空氣中，也會(huì)受腐蝕生銹。處理酸的最有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩，保證足夠的局部排風(fēng)量。

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除上述人們熟知的原因之外，還有器材和設(shè)備的搬出和大修施工時(shí)的污染問題。這些污染不只是由于人的移動(dòng)造成的，設(shè)備移動(dòng)也會(huì)揚(yáng)起已落在地板表面和器材上的塵埃。特別是更換設(shè)備時(shí)養(yǎng)護(hù)地板，搬進(jìn)小工具或很多搬運(yùn)工進(jìn)出潔凈室，這些情況會(huì)導(dǎo)致室內(nèi)的懸浮塵埃量比平時(shí)大一百倍以上。

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對(duì)潔凈室局部改造的施工中，通常人在地板下鋪設(shè)管道或者坐在地板上進(jìn)行作業(yè)。這種施工有時(shí)切割管道，于是聚氯乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚(yáng)出來。所以大修時(shí)盡管周圍掛上檔布以養(yǎng)護(hù)，但由于施工人員進(jìn)進(jìn)出出，受污染的不僅僅是局部范圍，而且全室都受嚴(yán)重污染。

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在潔凈室內(nèi)，只用有人在操作，有設(shè)備在運(yùn)行，就會(huì)發(fā)塵。這些塵埃并非隨著循環(huán)氣流為高效過濾器所捕集，一部分塵?？傄e落在地板、墻壁、設(shè)備表面上。應(yīng)清除這些積塵，以保持潔凈室的清潔。